第25回 未来科学オープンセミナー開催案内『白井泰雪教授による半導体製造を支えるインフラ・ユーティリティー技術に関する研究についてご紹介』7/26〔東北大学 未来科学技術共同研究センター〕

半導体製造の歩留まり向上に必要なクリーン化技術とは~半導体製造を支えるインフラ・ユーティリティー技術を中心に~

■開催日時 7月26日(金)15:00-17:30 ※通常より30分早く開始いたします。
■オンライン配信/現地出席も可(先着10名様)≪参加無料≫
■プログラム
15:00 講演 未来科学技術共同研究センター  教授 白井 泰雪 先生    
       半導体製造の歩留まり向上に必要なクリーン化技術とは
      ―半導体製造を支えるインフラ・ユーティリティー技術を中心に―
   (講演の合間と終了後に質疑応答)
16:30 ラボツアー(クリーンルーム見学)
17:30 終了
■お申込み
下記メール宛またはwebサイトよりお願いいたします。
オンライン視聴をお申込みいただいた方には、7月25日(木)(講演前日)に配信用URLをご連絡いたします。(お手数ですが、前日までにURLが届かなかった場合は、ご一報下さい。)
・メールによるお申込み: mirai@ml.niche.tohoku.ac.jp
・ウェブからのお申込み: https://www.niche.tohoku.ac.jp/opseminar.html
■締切 7月24日(水)までにお願いいたします。